Targets zur Herstellung von Dünnschichten

Targets zur Herstellung von Dünnschichten werden in verschiedensten Anwendungen gebraucht. Hierzu werden die entsprechenden Beschichtungsmaterialien i.d.R. auf Cu-Backingplates gebondet. Standardmäßig werden Targtes bis 150 ^oC gebondet, welche die Einsatztemperatur der Targets auf ca. 100 ^oC begrenzt. Gesteigerte Beschichtungsleistungen mit erhöhten Sputterraten erhöht auch die thermische Belastung der Targets erheblich. O.g. Belastungsgrenze ist daher nicht mehr ausreichend.

Mit einer von Euromat^® entwickelten Bonding-Technik können Targets bei 250 ^oC gebondet werden. Die gebondeten Targets können dann bis 175 ^oC thermisch belastet werden. Dieses entspricht einer Steigerung um 75 ^oC.


Auf Kundenwunsch können Targetmaterialien und Komplett-Targets angeboten werden. Dieses umfasst Reinmetalle, Al-Legierungen, Cr-Legierungen, Sonderlegierungen und Keramiken.